Available item(s) by this author

Advances in Low Temperature RF Plasmas / Makabe T.

Public ISBD Názov : Advances in Low Temperature RF Plasmas Original title : Basis for process design Typ materiálu: printed text Autor(i): Makabe T., Editor Editor: Netherlands : Elsevier Science B.V. Dátum publikovania: 2002 Strany: 341 s. ISBN (alebo iný kód): 978-0-444-51095-2 Jazyky : English (eng) Advances in Low Temperature RF Plasmas = Basis for process design [printed text] / Makabe T., Editor . - Netherlands (Amsterdam) : Elsevier Science B.V., 2002 . - 341 s. ISBN : 978-0-444-51095-2 Jazyky : English (eng)

Rezervácia

Zarezervovať exemplár

Exempláre

Barcode	Call number	Media type	Location	Section	Status
01481L	L	Kniha	Knižnica FÚ SAV	Monografie	Dostupné

Plasma Electronics: Applications in Microelectronic Device Fabrication / Makabe T.

Public ISBD Názov : Plasma Electronics: Applications in Microelectronic Device Fabrication : Series in Plasma Physics Typ materiálu: printed text Autor(i): Makabe T., Author ; Petrovic Z., Author Editor: London : Taylor & Francis Dátum publikovania: 2006 Strany: 339 s. ISBN (alebo iný kód): 978-0-7503-0976-9 Jazyky : English (eng) Plasma Electronics: Applications in Microelectronic Device Fabrication : Series in Plasma Physics [printed text] / Makabe T., Author ; Petrovic Z., Author . - London : Taylor & Francis, 2006 . - 339 s. ISBN : 978-0-7503-0976-9 Jazyky : English (eng)

Rezervácia

Zarezervovať exemplár

Exempláre

Barcode	Call number	Media type	Location	Section	Status
01480L	L	Kniha	Knižnica FÚ SAV	Monografie	Dostupné